小面積上涂層厚度的測(cè)量是個(gè)頭疼的問(wèn)題，怎么選擇小面積涂層測(cè)厚儀呢？

我們先了解一下關(guān)于涂層厚度測(cè)量的基本知識(shí)，再逐步分析小面積上的涂層厚度的測(cè)量方式。涂層也叫覆層，涂層覆層厚度的測(cè)量方法主要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測(cè)量法，稱(chēng)重法，X射線(xiàn)熒光法，β射線(xiàn)反向散射法，電容法、磁性測(cè)量法及渦流測(cè)量法等。這些方法中前五種是有損檢測(cè)，測(cè)量手段繁瑣，速度慢，多適用于抽樣檢驗(yàn)。生產(chǎn)中磁性法和渦流法是常用的涂層厚度測(cè)量方式，估計(jì)要占到95%以上。

X射線(xiàn)和β射線(xiàn)法是無(wú)接觸無(wú)損測(cè)量，但裝置復(fù)雜昂貴，測(cè)量范圍較小。因有放射源，使用者必須遵守射線(xiàn)防護(hù)規(guī)范。X射線(xiàn)法可測(cè)極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線(xiàn)法適合鍍層和底材原子序號(hào)大于3的鍍層測(cè)量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測(cè)厚時(shí)采用。

申明一下，我司（無(wú)錫君達(dá)儀器）所知道的知識(shí)也是有限的，太深?yuàn)W的關(guān)于涂層厚度的測(cè)量機(jī)理也不懂，我們只是就自己掌握的東西和大家交流。文章謝絕復(fù)制和轉(zhuǎn)摘！

測(cè)量涂層厚度采用磁感應(yīng)原理時(shí)，利用從測(cè)頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來(lái)測(cè)定覆層厚度。也可以測(cè)定與之對(duì)應(yīng)的磁阻的大小，來(lái)表示其覆層厚度。覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。

測(cè)量涂層厚度采用電渦流原理時(shí)，高頻交流信號(hào)在測(cè)頭線(xiàn)圈中產(chǎn)生電磁場(chǎng)，測(cè)頭靠近導(dǎo)體時(shí)，就在其中形成渦流。測(cè)頭離導(dǎo)電基體愈近，則渦流愈大，反射阻抗也愈大。這個(gè)反饋?zhàn)饔昧勘碚髁藴y(cè)頭與導(dǎo)電基體之間距離的大小，也就是導(dǎo)電基體上非導(dǎo)電覆層厚度的大小。

在涂層厚度的實(shí)際測(cè)量中，影響測(cè)量數(shù)據(jù)的度的因素有很多，比如邊緣效應(yīng)，表面粗糙度以及變形基體的磁性能電性能等。

這里講到了邊緣效應(yīng)，就關(guān)乎小面積上涂層厚度的測(cè)量了。當(dāng)工件面積很小，比如直徑小于5毫米，那么無(wú)論是磁感應(yīng)還是電渦流涂層厚度測(cè)量原理，傳感器所發(fā)出的磁場(chǎng)或電渦流，作用在基體上后，電磁場(chǎng)將會(huì)是不規(guī)則的，這就給主機(jī)的計(jì)算帶來(lái)的困難，具體表現(xiàn)為無(wú)顯示，或即使有顯示，測(cè)試涂層厚度數(shù)據(jù)和真實(shí)涂層厚度數(shù)據(jù)差異很大。

用戶(hù)如果自己的產(chǎn)品面積很小，用普通的測(cè)厚儀是無(wú)法測(cè)量的，常規(guī)的涂層測(cè)厚儀要求工件面積直徑10mm以上。因?yàn)樾∶娣e的涂層厚度的測(cè)量要求高同時(shí)市場(chǎng)需求很小，這就給涂層測(cè)厚儀的研發(fā)帶來(lái)了效益上的考慮。目前，國(guó)內(nèi)的小面積涂層厚度測(cè)量還是個(gè)薄弱環(huán)節(jié)，雖然標(biāo)稱(chēng)zui小可測(cè)5毫米，但效果差強(qiáng)人意。國(guó)外（德國(guó)）的有測(cè)到磁性3毫米渦流2毫米的，使用起來(lái)還可以。國(guó)內(nèi)的如TT260配F400探頭和CNO2探頭，探頭和主機(jī)需要較真（用戶(hù)不要?jiǎng)邮郑。﹪?guó)外的EPK的1100配N02探頭和F05探頭。具體的還需要進(jìn)一步交流。

同時(shí)，正因?yàn)樾∶娣e的涂層厚度的測(cè)量基本已經(jīng)達(dá)到本身小面積涂層厚度測(cè)量的極限，所以，在小面積的涂層厚度的實(shí)際測(cè)試時(shí)，涂層厚度的測(cè)試精度，客戶(hù)不要太較真。

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